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半自动晶圆检测

该设备是针对代替Wafer显微镜目检，进行初步外观检查所开发的半自动机型，以机器视觉检测为主，包括检测表面污染、划片损伤、尺寸量测等瑕疵。通过正面检测Wafer，兼容8寸和12寸，可以自动生成Mapping图，自动生成报表，可以存储照片用于回溯。 ​

该设备是针对代替Wafer显微镜目检，进行初步外观检查所开发的半自动机型，以机器视觉检测为主，包括检测表面污染、划片损伤、尺寸量测等瑕疵。通过正面检测Wafer，兼容8寸和12寸，可以自动生成Mapping图，自动生成报表，可以存储照片用于回溯。


该设备是针对代替Wafer显微镜目检，进行初步外观检查所开发的半自动机型，以机器视觉检测为主，包括检测表面污染、划片损伤、尺寸量测等瑕疵。通过正面检测Wafer，兼容8寸和12寸，可以自动生成Mapping图，自动生成报表，可以存储照片用于回溯。


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